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江蘇鵬舉半導體設備技術(shù)有限公司 |
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| 江蘇鵬舉半導體設備技術(shù)有限公司由江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院,南通創(chuàng )新區和海歸團隊共同投資成立。是一家專(zhuān)注于半導體關(guān)鍵組件及特種工藝設備的高新技術(shù)公司,集設計、研發(fā)、制造、銷(xiāo)售及工藝技術(shù)支持服務(wù)于一體的綜合解決方案供應商。 公司集聚國內外半導體領(lǐng)域技術(shù)專(zhuān)家,來(lái)自清華大學(xué),美國B(niǎo)ell Lab貝爾實(shí)驗室,英特爾,海力士等資深半導體人士領(lǐng)銜,自主研發(fā)生產(chǎn)國內半導體產(chǎn)業(yè)所需的“卡脖子”關(guān)鍵組件及工藝設備。目前主要產(chǎn)品包括高真空管路、腔室設計;柵網(wǎng);離子源;研發(fā)型、產(chǎn)業(yè)化型原子層沉積(ALD);研發(fā)型原子層刻蝕(ALE);HF/XeF2刻蝕機/離子束刻蝕IBE/沉積設備IBD等,廣泛應用于IC 芯片、MEMS、LED、光通信、強激光、深紫外、磁存儲等器件的生產(chǎn)。 |

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